VISION系列电子级超纯水系统
VISION是专为半导体行业量身定制的一款电子级超水纯系统。系统采用一体化可移动设计，集成了预处理、RO、EDI供水系统及控制系统。VISION在纯化水的制备、贮存和分配上都有严格的考量，整体设计符合GB/T 11446-2013《电子级水》EW-I及ASTM D5127-2013(2018) Type E1.2各项指标相关要求。
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设备参数
参数内容
VISION
设备工艺
RO+(RO )+EDI+DI
设备产量
0.5-10T/H（可订制）
供水水质
≥18MΩ·cm@25℃，
其他符合GB/T 11446-2013《电子级水》EW-I及ASTM D5127-2013(2018) Type E1.2各项指标
设备尺寸
根据配置需求
设备优势
标准化产品，省心省力
恒产量工艺ppt级别金属离子含量；
满足不同芯片制程工艺用水需求；
满足生产供水24h连续运行要求；
3D建模设计适配不同机房空间尺寸。
全自动化控制，维护便利
系统可远程启停；
耗材寿命实时查询；
物联网远程系统管理；
10”彩色中文触摸屏；
具有独立的入网许可证；
运行指标参数实时查询；
当前/历史报警信息记录查询；
数字化仪表实时显示水质指标。
典型应用
电子级超纯水/半导体生产用水
