Glimmer痕量分析型超纯水系统
Glimmer是一款以自来水为水源,经一系列组合的纯化工艺和技术,生产适用于痕量和超痕量元素分析的超纯水,应用场景覆盖晶圆制造业、设备材料业、第三方检测实验等ICP-MS检测及痕量IC检测。
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设计先进
水质达标的同时降低二次污染
巧妙的工艺设计,能够在纯化到痕量级别的同时保障水质稳定
低溶出材料的选用,防止潜在污染
维护轻松
让稳定获得高品质超纯水变得简单易行
●滤柱芯片管理
系统自动识别并指引安装,产品信息可追溯,精准管理防失误。
●耗材寿命管理
具有独立的耗材管理界面,寿命转态一目了然,具备维护按键可快速引导执行更换。
●物联网技术云服务平台
可通过移动端对设备进行日常管理,随时随地掌握系统运行状态和易耗品状态。
作为检测中的空白,极低污染的超纯水有助于缓解BEC的提高让您轻松获得稳定的超纯水
技术参数
型号
Glimmer
进水条件
市政自来水,5-40℃,压力1-6bar
产水水质
电阻率18.2MΩ.cm@25℃,金属离子<1ppt,TOC<3ppb(具备TOC实时在线监测)
取水流速
Max.2L/min
TOC测量范围
0.1-999ppb
储水量
40L(更大储量请另询)
输入电源
AC100-240V,50Hz
设备功率
120W
设备尺寸
预处理-水箱一体单元:W339×D410×H904mm
Glimmer主机:W374×D508×H538mm
空载重量
预处理-水箱一体单元:15kg 主机:24kg
典型应用
晶圆制造业、设备材料业、第三方检测实验等ICP-MS检测及痕量IC检测。